重要外形尺寸（Critical Dimension, 卡帶）便是MEMS組裝過程中均比較極其重要的的術語，主要就指稱的的在發微
特質長寬:概要,數學方法,
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詞彙指事,漢語拼音:ㄓˇ ㄕˋ註解:1.周易之一。常因具體內容本色，乃以象徵性的的記號來坦言涵義的的造字方式。諸如上能、。唐．鄭玄〈釋名註釋〉：「指事之人，視因而可識，察所以見意。」亦叫做「象事情」。
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